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专利名称：一种12吋晶圆用平整固定装置专利类型：发明专利
发明人：刘劲松,郭俭,张金志,崔恒彬,邵志翔申请号：CN201811137336.7申请日：20180928公开号：CN109360804A公开日：20190219
摘要：一种12吋晶圆用平整固定装置，包括：承载台；吸附固定部，安装在承载台上；以及检测部，用于检测翘曲晶圆的平整度，包括负压检测单元和平整度检测单元，其中，吸附固定部具有：预固定单元、装载固定单元以及用于为预固定单元和装载固定单元分别提供真空负压的负压单元，预固定单元，安装在承载台上，可相对于承载台上下移动，用于对翘曲晶圆进行预固定，装载固定单元，安装在承载台上，可相对于承载台上下移动，用于装载固定翘曲晶圆，具有底盘以及设置在底盘上的多个吸附孔和多个底盘通孔，该底盘通孔位于底盘的区域，用于供预固定单元通过，当预固定单元对翘曲晶圆进行预固定后，装载固定单元启动负压对预固定后的翘曲晶圆进行吸附固定。
申请人：上海微松工业自动化有限公司,江苏弘琪工业自动化有限公司
地址：201112 上海市闵行区新骏环路188号15-102
国籍：CN
代理机构：上海德昭知识产权代理有限公司
代理人：郁旦蓉
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