一、制订维护人员： 职 称 姓 名 日 期 二、会审纪录： 三、核准： (本份文件修订纪录表共 1页) 修订种类：A：增加 D：减少 M：修改 C：章节 一、目的： 建立并定义本公司静电敏感组件及静电防护区域内管制规范。 提供一个适当的准则，以保护所有静电敏感组件免于受到静电放电损害。 确保所有人员进入静电防护区域人员明了静电防护设备设施及正确观念，特订本管制程序期能静电放电伤害降到最低。 二、范围： 依据ANSI/ESD 进行规范，凡属本公司之静电防护措施及静电防护区域均适用。 三、权责： 组件敏感等级之判定：各产品设计研发处。 组件敏感等级数据提供：各产品设计研发处及采购部。 ESD量测设备量规仪器校正：质量工程部。 ESD教育训练导入：人力资源部。 ESD日常作业量测： 静电防护小组。 ESD防护稽核验证：静电防护小组/质量管理部。 供货商ESD防护稽核：供货商实地评鉴小组。 四、定义： ESD ：静电放电：物质表面的正/负电分离所造成电位。 ：静电防护区：能静电压包含物料及设备的工作环境。 ESDS：静电放电敏感度：对组件特性产生改变，致使组件无法符合其特定特性下的ESD最低水平。 HBM；人体模式：由人体的指尖接触 ESDS 产品而放电。 CDM；组件充电装置模式：由组件本身放电至周围对象。 MM ；机械模式：由设备本体接触 ESDS 产品而放电。 ；静电防护区中一个共享的接地点。 离子化：将中性空气分子分离为带正/负电的分子。 ANSI/ESD ：美国标准静电防护规范。 静电防护小组：包括项目经理/总务/研发/生产/工程/品保/采购/仓管/RMA代表。 五、ESD作业管制： 接地系统： 静电地桩 阻抗值小于 10Ω，每年委外量测并出俱『静电接地阻抗测试报告』。 设备接地 回路阻抗值小于1Ω。所有生产设备之AC-INPUT必须为三插头。有接地端之电源机器设备一律接地。用电表Ω档量测电源接电箱与接地线，并确认是否导通。厂内回路阻抗必须小于1Ω，且每半年量测一次。记录于「设备接地量测记录表」(接地线颜色：AC电源接地线及仪器设备为绿色。)并符合表格1及电工法规之要求。 表格1 技术要求 接地/等电位相连系统 等电位相连接 ANSI/ESD < X 109奥姆阻抗 静电接地与设备接地电位压差须<150mv以减少压差对静电放电之影响，并将量测点及数值记录于『静电接地阻抗测试报告』。 当设备更新后或送修重新安装时，须再进行设备接地量测确认。 静电接地 静电接地线检查方式：以静电连续监控设备监控，并确认是否正常。厂内回路阻抗必须小于25Ω，蓝色静电线接地需与设备接地线隔离。连续监控器显示绿灯且无警报声响为合格，当超出上限值时，连续监控器产生红灯警示且有警报声响，厂区主管立即通报静电防护小组及总务人员处理。 人员接地 人员接地要求 产品合格检验 测试方式 手腕带系统 ANSI/ESD 章) 要求限定 < X 107奥姆 认证检验 测试方式 ESD TR53 (手腕带章节) 要求限定 < X 107奥姆 实施方案 设备接地 测试方式 ANSI/ESD 强制限定 <奥姆阻抗 静电环 厂区同仁需每日固定上下午各量测纪录一次，非厂区同仁每日量测一次，进出厂区搭配量测门禁管制。检查方式：将腕上静电环与静电接线间电阻值约(900KΩ~×107Ω)静电环测试器显示绿灯表示合格，若静电环功能失效时，则须重新调整或立即更换新品。。 静电鞋 厂区同仁需每日固定上下午各量测纪录一次，非厂区同仁每日量测一次，进出厂区搭配量测门禁管制。检查方式：以静电环/导电鞋测试器，显示绿灯(900KΩ~×107Ω)与 LO-FAIL之红灯表示合格，若显示导电鞋功能失效时，请先确认鞋底清洁及袜子材质是否阻隔，并再次量测。若依旧失效，则立即换新。 静电服 静电服材质必须以导电纤维编织而成，可防止静电产生，并可将静电安全消散释放。于每次新品购入时，须进行抽验(或供货商检附证明)，以确认静电服之纤维有无断线造成无法达到静电释放之情形发生。 导电地板 表面阻抗值在Ω~ Ω。导电地板须搭配导电鞋使用，每半年定期量测一次导电地板阻抗值及保养清洁打腊后量测。 静电放电保护区(EPA)温湿度管制要求 (1)研发零件拆焊区(2)RMA(3)实验室(4)收料室(5)生产厂区均属静电放电保护区，温湿度须管制在室温摄氏20度以上30度以下，湿度30%RH~70%RH。(零件仓等区域湿度规定为30%RH~60%RH) 工作场所的管制 卷标标记：贴有如下图示之工作场所，则为区，所有人员进入此区域必需遵守的防护要求来进行作业。张贴在人员进入静电放电保护区之前可清楚地看到的地方。 静电放电保护区可以是一个单独的工作台或整个房间或整座建筑。限完成了相应的静电放电培训的人员，才能进入静电放电保护区，未经培训的人员(供货商/客户)进入静电放电保护区时，应由受过培训的人员陪同。 作业人员采坐姿作业及无导电地板作业区一律须佩带使用静电环。 静电敏感区内静电电压的管制标准(EOS/ESD 、ESD 静电敏感区内静电电压的管制标准为模式100V以下。 人员进入EPA区需依据规定进行防护作业。 静电敏感区内作业人员之防护配备 A. 静电防护基本认知 B. 静电服 C. 静电鞋 D. 静电环 E. 所有使用于此工作站内的机器，须有共同的接地系统。 产品的运输、存放 在运输和存放ESDS产品时应使用防静电袋、防静电货架、防静电推车和防静电周转箱。防静电货架必须铺防静电垫并接地。运输用的防静手推车和转运车的表面必须为防静电材质并接地。推车的轮子必须是导电轮或使用金属链条拖地接地。单板移动搬运时需使用防静电包材将产品包覆。 静电敏感组件的分类 静电敏感组件等级区分，主要是依照HBM 模式进行分类。所有半成品之静电压分类，则依据工程中心所展出零件ESDS敏感等级进行归类。 HBM ESDS Component Classification Class Voltage Range 0 < 250 1A 250 to < 500 1B 500 to < 1000 1C 1000 to < 2000 2 2000 to < 4000 3A 4000 to < 8000 3B ≧ 8000 絶缘体在区域规范 为了减少电场感应所导致的带电器件破坏模式，静电放电控制方案应包含对制程中所必要的绝缘材料的处理计划。如果电场超过2000伏/英寸，应采取下列的步骤中的一个： A. 将绝缘体与静电放电敏感器件分开30厘米(12英寸)的距离。 B. 使用离子风扇电荷中和。 所有的离子风扇，必须是能够自我中和其所释放出来的正负离子，而离子风扇的使用与否，由静电防护小组来决定。当移动一个静电敏感组件至一个没有导电地板保护的区域时，须使用静电防护袋。 ESD防护检验规范 A. 新品依「ESD新品量测规范」作业。 B. 符合性查证依「ESD定期量测规范」作业。 C. 量测时，需作读值记录，并贴合格卷标方式实施。 D. 治具工具需为静电消散材或导电材质。 E. 静电放电保护区(EPA)检验标准如下表： 静电防护系统认证检验计划 1. 确保各单位能够落实执行静电放电管制的要求及静电防护系统监测成立静电防护小组，负责相关业务维护及推动。静电防护小组需针全公司静电防护管制进行监督，执行年度ESD静电防护计划并执行稽核作业，并于执行过程时填写于「内部稽核查检表」。且需将异常发现于管理审查会议中提出。若发生不符合事项时，依据「异常与矫正预防措施程序」进行改善追踪。进行供货商(委外加工厂)评鉴时，除依据「供货商管制程序」执行外，仍需针对该厂对于ESD防护能力进行了解及稽核。 2. 产品认证检验计划：依 ESD防护检验规范执行。 包装 静电放电保护包装应符合合同，采购订单、制图或其他文件。如果上述檔未作特殊说明，根据ANSI/ESD S541，对静电放电保护区内外的静电放电包装作出定义。 采购静电敏感组件一定要要求供货商装入具有导电材之容器或静电消散包装内，被动组件若为静电敏感者，其料卷也应使用导电材与静电消散材之包装。 包装管须为抗静电，如导电材质，且包覆于导电袋或导电盒，则可单独运送或装入标准纸箱内。管子两端塞子及针状物也必须是抗静电或导电材料。 每半年针对重复性使用之抗静电材料或导电材料，如储存放置箱、隔板、抗静电泡棉、导电料盒…等，予以确认其是否仍在规格内，否则应停止重复使用该材料或更换新品。 电子板半成品包装时，需使用防静电包装，并贴有ESDS敏感组件卷标贴纸，外箱以纸质材料为主。 人员训练 : 静电防护训练内容为有关静电防护之知识和方法： 新进人员及在职人员静电防护训练依「员工教育训练管制程序」执行。 经QC稽核连续2次以上(含)过失者，单位主管得专对该员提出重新训练。 静电防护小组每年除基础防护课程外须再针对ANSI/ESD 及「静电防护 管制程序」、「ESD新品量测规范」及「ESD定期 量测规范」等ESD量测技术稽核相关课程进行复训。 标记 静电放电敏感物体，系统或包装的标记应符合客户合同，采购订单、制图或其他文件。当合同、采购订单、制图或其他文件未对静电放电敏感物体、系统或包装的标记，未作特殊说明，使用单位在建立静电放电控制方案计划时，应考虑到标记的需要。目前使用之标记如下： 贴有如下图示表示易受到 ESD损害的设备或组件 贴有如下图标表示此作业区域受到ESD保护管制 有如下图示表示为共同接地点 六、文件保存：所有记录保存依据「记录管理程序」执行。 七、参考文件： 记录管理程序 供货商管制程序 员工教育训练管制程序 异常与矫正预防措施程序 ESD新品量测规范 ESD定期量测规范 内部稽核查检表
