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专利名称：一种干刻机的上电极结构专利类型：实用新型专利发明人：郑建博
申请号：CN201220169321.0申请日：20120419公开号：CN2026631U公开日：20130109
摘要：本实用新型提供一种干刻机的上电极结构，包括电极板和设置于电极板上的九个线圈；所述九个线圈呈矩阵式排列。本实用新型通过在上电极的电极板上矩阵式的设置9个线圈，使得基板在正常等离子刻蚀中，可实现对腔室等离子的密度进行九个区域控制，有利于控制干刻中出现的刻蚀不均匀；在蚀刻法生产中不仅可以提高改善干刻制程中产生的不均匀问题，并且可以实现基板中心及四角同步刻蚀，提高刻蚀效率；经干刻法生产后，基板就不会由于基板中心及四角等离子密度不同，致使刻蚀速率不一，造成刻蚀不均匀，同时可以提高基板的刻蚀效率。
申请人：彩虹(佛山)平板显示有限公司
地址：528300 广东省佛山市顺德区大良街道五沙新悦路13号
国籍：CN
代理机构：西安通大专利代理有限责任公司
代理人：田洲
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