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专利名称：研磨用组合物专利类型：发明专利
发明人：佐藤刚树,吉崎幸信,大西正悟申请号：CN201680057157.5申请日：20160921公开号：CN108140569A公开日：20180608
摘要：本发明的目的在于，提供能以更高速度对研磨对象物进行研磨的研磨用组合物。提供一种研磨用组合物，所述研磨用组合物用于对研磨对象物进行研磨，该研磨用组合物包含：在磨粒的表面直接修饰有离子性分散剂的表面修饰磨粒、和分散介质，在前述分散介质中，前述磨粒的聚集被抑制。
申请人：福吉米株式会社
地址：日本爱知县
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
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