高低温测试装置及其使用方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201810330068.4 （22）申请日 2018.04.13

（71）申请人 上海华力集成电路制造有限公司

地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

（10）申请公布号 CN108627752A

（43）申请公布日 2018.10.09

（72）发明人 吴泓要;曹巍;尹彬锋

（74）专利代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司

代理人 郭四华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

高低温测试装置及其使用方法

（57）摘要

本发明涉及一种高低温测试装置，涉及集

成电路制造技术，该高低温测试装置包括：机台基板，用于承载一被测试器件；测试基板，设置于所述机台基板上，包括一底板及设置于所述底板上的一夹具，所述底板包括一孔，所述被测试器件容置于所述孔内，所述夹具包括一第一子夹具、一第二子夹具及设置于所述第一子夹具及所述第二子夹具上的卡扣装置，且所述第一子夹具和所述第二子夹具的靠近所述孔的一侧设置有

胶；以及气罩，所述气罩组接于所述底板上，并包围所述被测试器件，且所述气罩外围设置有胶；以得到一种气密性较好的高低温测试装置，提高测试效率。

法律状态

法律状态公告日

2018-10-09 2018-10-09 2018-11-02

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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公开 公开

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权利要求说明书

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说明书

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